高精度主動減振平臺(主動減震臺)產(chǎn)品介紹：

在3D空間的6個自由度中主動式隔振  從0.7 Hz 到100 Hz

在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體代表相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)), 振動、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。

在納米技術(shù)中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時需要主動隔離。

先進(jìn)的主動式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。

裝載設(shè)備：

掃描電子顯微鏡，如 AFM 3D表面分析儀，激光顯微鏡，激光干涉儀，液體表面張力測量系統(tǒng)，顯微硬度測量儀，醫(yī)療檢測設(shè)備等。

高精度主動減振平臺(主動減震臺)特點：

1、在全部的6個自由度范圍內(nèi)，從0.7Hz到100Hz，TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動隔振性能。

2、當(dāng)儀器裝載時，高度調(diào)整會自動進(jìn)行。

3、即使當(dāng)負(fù)載偏離中心時，自動調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時，給予穩(wěn)定性。

4、通過按下前方的按鈕，系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。

5、前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實際振動水平。

6、主動隔振也可以通過使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來從外部啟用或禁用。(單獨出售) 有關(guān)詳情，請與我們聯(lián)系。

TS應(yīng)用案例

Herz系列產(chǎn)品創(chuàng)建穩(wěn)定的測量環(huán)境

支持改善TS的隔振性能

主動式隔振系統(tǒng)控制水平和垂直方向20μm的振動振幅。如果工作臺或桌面不夠堅硬，TS系列產(chǎn)品的隔振性能將會降低，或者振動會放大。我們提供具有內(nèi)置阻尼功能的剛性框架，以實現(xiàn)TS系列產(chǎn)品的理想性能。

帶有鉆孔和螺紋孔的安裝板

此安裝板由磁鐵不銹鋼和鋁制成。定制的鉆孔位置可以根據(jù)要求提供。

TS-150屬于Herz主動式隔振系統(tǒng)，專為掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、激光干涉儀、表面輪廓儀及納米壓印設(shè)備等高精密儀器設(shè)計，可有效隔離0.7 Hz起的低頻振動干擾，彌補(bǔ)傳統(tǒng)被動氣浮隔振臺在低頻段隔振能力不足的問題。該系列提供不同負(fù)載能力的型號，TS-150適用于中型設(shè)備，如需承載更重或更高重心的儀器，可咨詢更大負(fù)載型號。

在實際部署時，隔振效果與支撐平臺的剛性密切相關(guān)——若工作臺剛度不足，可能影響主動隔振性能，建議搭配廠家推薦的阻尼剛性框架或蜂窩光學(xué)平臺使用。此外，用戶可根據(jù)儀器底部接口定制安裝板的螺紋孔位置，便于直接固定設(shè)備；對于需要遠(yuǎn)程控制或集成到自動化測量系統(tǒng)的場景，可選配外部遠(yuǎn)程控制箱實現(xiàn)隔振功能的啟閉。

如需評估實際隔振效果或獲取與您現(xiàn)有儀器匹配的安裝方案，可聯(lián)系我們索取詳細(xì)技術(shù)規(guī)格書、預(yù)約現(xiàn)場演示或進(jìn)行樣品實測。